
L'azienda cinese Prinano consegna il primo strumento di litografia nanoimprint nazionale
L'azienda cinese Prinano ha consegnato a un cliente locale il suo primo sistema di litografia nanoimprint PL-SR sviluppato in proprio, in grado di produrre linee di larghezza inferiore a 10 nm. Posizionato come alternativa all'EUV...