Un rapporto di Reuters afferma che la Cina ha sviluppato con successo una macchina per la litografia EUV (Extreme Ultraviolet) presso un laboratorio di Shenzhen, con l'aiuto di alcuni ex ingegneri di ASML. Questo sviluppo conferma le voci precedenti e segna una svolta significativa nelle capacità di produzione di chip della Cina, consentendo potenzialmente alle fonderie cinesi come SMIC di produrre chip avanzati che potrebbero competere con quelli di TSMC, Intel e Samsung. Si dice che l'impresa sia segreta, con gli ex ingegneri che operano sotto pseudonimo.
Tuttavia, la macchina EUV non è ancora in grado di produrre chip. Si prevede che diventi pienamente funzionante entro il 2028 o forse addirittura nel 2030. A quel punto, è probabile che i concorrenti siano passati all'high-NA EUV, la tecnologia litografica di prossima generazione sviluppata da ASML. Inoltre, scalare la produzione sarà impegnativo, perché la Cina dovrà produrre tutto internamente a causa della mancanza di supporto ufficiale di ASML. Inoltre, deve procurarsi parti di seconda mano da vari fornitori, come Nikon e Canon.
Finora, la Cina ha dovuto affidarsi a macchine DUV (Deep Ultraviolet) di ultima generazione, le uniche che può acquistare legalmente da ASML. Il nodo N+3 di SMIC ha spinto il DUV ben oltre i suoi limiti, producendo chip di classe 5-nm come il Kirin 9030. In un brevetto successivo si è parlato di spingere la tecnologia a 2 nm. Con la recente scoperta dell'EUV, probabilmente non sarà necessario a causa della complessità e dei rendimenti abissali.
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